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近日，電科裝備8-12英寸SiC材料加工局部成套解決方案成功應(yīng)用，邁出了從示范驗證到產(chǎn)線推廣的重要一步。
8-12英寸SiC材料加工局部成套解決方案是電科裝備積極落實集團公司改革試點工作部署，協(xié)同內(nèi)部優(yōu)勢資源、打造市場增量的“單項冠軍”培育產(chǎn)品之一?；趯Ξa(chǎn)業(yè)鏈需求的精準把握，電科裝備瞄準8英寸及以上大尺寸碳化硅襯底的規(guī)?；a(chǎn)需求，集合減薄設(shè)備、激光剝離設(shè)備等多款碳化硅襯底材料加工關(guān)鍵裝備，以線帶面，開展智能集成化聯(lián)合攻關(guān)，為行業(yè)提供局部成套解決方案。
研制伊始，電科裝備便通過內(nèi)協(xié)同外聯(lián)合，與內(nèi)部單位共建示范線，開展方案的示范驗證工作，通過工藝協(xié)同和對單個設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新升級，在持續(xù)迭代下，方案有效縮短產(chǎn)品生產(chǎn)周期，進一步減少了生產(chǎn)過程中的人為誤差，顯著提升了產(chǎn)品良品率和一致性，有效助力產(chǎn)線降低成本、提高效率、擴大產(chǎn)能，實現(xiàn)從示范驗證到首套設(shè)備成功推廣應(yīng)用。
后續(xù)，電科裝備將以此次產(chǎn)線應(yīng)用為契機，進一步推動在大尺寸化、快速生產(chǎn)化、高良品率化、全自動化、低能耗化、整線智能化方面技術(shù)升級，以技術(shù)創(chuàng)新推動產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新，全力打造具有全球競爭力的“單項冠軍”產(chǎn)品。
